2021年12月，靈感來(lái)自于一篇深圳中能高重復(fù)頻率X射線自由電子實(shí)驗(yàn)站以及與中山大學(xué)合作的實(shí)驗(yàn)站配套建設(shè)的測(cè)試項(xiàng)目，仔細(xì)閱讀《激光等離子體13.5nm極紫外光刻光源進(jìn)展》以及參考ASML，TRUMP,ZEISS相關(guān)信息，萌發(fā)了搭建一個(gè)小型，低成本的桌面型eUV光源，市場(chǎng)能夠看到的光源如下：
大型自由電子X激光源(FEL模式)
ASML系統(tǒng)EUV光源(LPP模式)
荷蘭ISTEQ公司臺(tái)式EUV光源（LPP模式）
經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)月準(zhǔn)備，先期在廣州實(shí)驗(yàn)室自制測(cè)試儀器，驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)信號(hào)，完善實(shí)驗(yàn)中的激光防護(hù)和安全條件，最終在深圳實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)13.5nm的X激光在60w和200w泵浦條件下均實(shí)現(xiàn)信號(hào)輸出，令科藝公司在南中國(guó)大灣區(qū)首次獲得eUV激光源的輸出。展現(xiàn)了大灣區(qū)科技應(yīng)用的典型特點(diǎn)：低成本，高效率，快速轉(zhuǎn)化的綜合科技轉(zhuǎn)化能力。
（早幾年哈工大本部采用DPP模式獲得X激光輸出，上海光機(jī)所采用LPP模式獲得X激光輸出）
科藝桌面型eUV光源(LPP模式)
由于所有實(shí)驗(yàn)是非真空環(huán)境條件下進(jìn)行，激光損耗和散射比較大，理論估計(jì)本次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如下：
1.輸出波長(zhǎng)13.5nm
2.輻射總能量：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）
12mW@200W CO2 泵浦 （F201）
3.測(cè)試裝備：26所特制5*5*5閃爍體+Thorlab光探測(cè)器2套（慢速高靈敏+高速低靈敏）
通用輻射計(jì)1套
@200W泵浦時(shí)信號(hào)
@60W泵浦時(shí)信號(hào)
輻射計(jì)信號(hào)
基于初步實(shí)驗(yàn)過(guò)程，充分有效地鍛煉了我們團(tuán)隊(duì)解決新問題的應(yīng)變能力，也印證了科藝公司多年在激光應(yīng)用領(lǐng)域豐厚的技術(shù)沉淀和靈活高效的操作手段。
未來(lái)，科藝公司也將繼續(xù)與中山大學(xué)及其相關(guān)伙伴共同推進(jìn)此項(xiàng)技術(shù)在超分辨成像儀器方面做一些探索與貢獻(xiàn)。
伍慶華
2022-7-22于廣州
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